進博前瞻|ASML展示新款i-line光刻機 中國區總裁沈波:3D集成是芯片行業未來趨勢之一

每日經濟新聞
11/03

10月31日,光刻機龍頭廠商ASML(阿斯麥)於中國區總部上海張江辦公室舉辦進博會展前媒體交流會。  今年是ASML第七次參加進博會,其將以「積納米之微,成大千世界」為主題,亮相國家會展中心技術裝備展區集成電路專區。此次進博會,ASML將以數字化方式展示全景光刻解決方案下的多款產品和重點業務,包括TWINSCAN NXT:870B(以下簡稱「NXT:870B」)和TWINSCAN XT:260(...

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