本文由半导体产业纵横（ID：ICVIEWS）综合ILT是一种通过建立光刻模型传输函数的逆变换，将目标晶圆图形反推掩模图形的芯片制造技术。计算机芯片无疑是现代世界的伟大奇迹之一，是令人难以置信的工程杰作。正当你以为它们已经足够复杂精妙的时候，反向光刻技术（ILT）横空出世，这项奇特而前卫的技术有望将芯片设计推向更高的性能水平。严格来说，ILT并非新技术。ILT是一种通过建立光刻模型传输函数的逆变换，...
网页链接本文由半导体产业纵横（ID：ICVIEWS）综合ILT是一种通过建立光刻模型传输函数的逆变换，将目标晶圆图形反推掩模图形的芯片制造技术。计算机芯片无疑是现代世界的伟大奇迹之一，是令人难以置信的工程杰作。正当你以为它们已经足够复杂精妙的时候，反向光刻技术（ILT）横空出世，这项奇特而前卫的技术有望将芯片设计推向更高的性能水平。严格来说，ILT并非新技术。ILT是一种通过建立光刻模型传输函数的逆变换，...
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