芯片制造流程极为复杂，光刻工艺则是其中最关键的一环，光刻确定了芯片的关键尺寸，在整个芯片制造过程中约占据整体制造成本的35%。可以说光刻机的技术水平会直接影响半导体制造工艺的精度和效率，是制造出足够微小、精确、高效率的集成电路的关键因素。当前全球光刻机市场呈现出明显的寡头垄断格局，荷兰的阿斯麦（ASML）处于绝对领先地位，日本的尼康（Nikon）和佳能（Canon）紧随其后。近期，ASML发布财报...
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