阿斯麦(ASML)总裁兼首席执行官傅恪礼表示“我们看到光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占的比重持续保持强劲尤其是在DRAM
阿斯麦(ASML)总裁兼首席执行官傅恪礼表示“我们看到光刻机投资在晶圆厂总体投资中所占的比重持续保持强劲尤其是在DRAM(动态随机存取存储器)领域而TWINSCAN NXE:3800E的推出也进一步巩固了这一趋势。与此同时EUV光刻机的应用正在按计划推进其中包括高数值孔径(High NA)系统。本季度我们发运了首台TWINSCAN EXE:5200B系统。”。
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