金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，硅光机器公司;株式会社斯库林集团申请一项名为“用于LIDAR应用的利用MEMS相控阵的垂直光束调控”的专利，公开号CN120153283A，申请日期为2023年08月。
专利摘要显示，光探测和测距(LIDAR)系统包含具有随机访问指向的扫描系统。扫描系统具有：光源，其生成相干光；微机电系统(MEMS)相控阵，其在垂直方向上转向相干光；以及共振扫描仪，其在水平方向上扫描相干光。相干光被投射到远场场景上。MEMS相控阵转向相干光以将投射光以随机访问方式指向远场场景上的选定光斑上。
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